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关于隔振平台原理、结构以及分类相关知识点分析
发布时间:2020-10-30浏览:1214次
  大家都知道的是振动是一种能量,它以振动波传递,具有一定的频率。我们的设备在运行时也有一个频率段,当二者有重合的时候就是非常我们所说的振动与不稳定。通常的振动频率一般都是高频,可在50-100HZ,而细微隔振就是通过隔振装置达到衰减、吸收客观环境下的振动能量,降低振动频率使之降到10HZ以下,非常好的隔振可以降低到5HZ。
 
  隔振平台被设计用来使超精密仪器设备可以隔离来自于建筑地面的振动,可隔离的频率低于1Hz。该系统可理想应用于光学显微镜、扫描探针显微镜(SPM)及计量仪器。具有主动隔振系统设计,可以轻松选择并设置三个增益中的一个以获得适合当前环境的性能。

  隔振平台主要还是包含了这五个组成部分:隔振台面、减振单元、支撑腿、安全装置、可调地脚。核心部件是减振单元和工作台面。
 
  隔振平台的工作台面按材质大体分两大类:大理石台面和不锈钢台面。大理石台面一般对工作面是00级要求,而不锈钢台面也要求有不超过0.02mm的水平误差,这一切都是基于保证设备水平的技术要。
 
  隔振平台的减振单元主要使用气浮减振器(空气弹簧减振器)。具体又可以根据实际的使用情况下选择精密气浮减振器和常规的气浮减振器。
 
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