产品展示

您现在的位置:首页  >  产品展示  >  光机产品  >  阻尼隔振平台  >  DVIO-MO系列主动隔振光学平台

DVIO-MO系列主动隔振光学平台

  • 产品型号:
  • 产品时间:2021-03-26
  • 简要描述:DVIO-MO系列主动隔振光学平台主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器 DVIA-M,每个支撑里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器,主要消除 0.5-10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。
  • 产品简介

说明:
DVIO-MO系列主动隔振光学平台为韩国 DAEIL(大一)株式会社生产的主动隔振光学平台,由台面和主动隔振支撑两部分组成。
台面采用真蜂窝三层夹心式结构,上台面为 430 系列高导磁不锈钢,台面按照25mmX25mm 孔距均布 M6 螺纹孔,方便安装仪器,每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯,方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构,是把 0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构,增加了台面结构的密度,减小体积,采用先进的粘合工艺,坚固耐用。台面的底部和侧板用钢板作为主体材料,具有非常好的动态和静态的刚性。
主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器 DVIA-M,每个支撑里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器,主要消除 0.5-10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。
这个系列的平台可以在低频范围(0.5-10Hz)提供非常好隔振性能,它可以应用于很多对振动要求非常高,甚至具有挑战的领域,比如高分辨率的光谱仪、高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

DVIO-MO系列主动隔振光学平台特点:
• 具有非常好的隔振性能,特别是在低频2Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率。
• 采用惯性传感器,可以检测出六个自由度的振动,并做补偿。
• 采用真蜂窝三层夹心式结构台面,厚度可选100/200/300mm。
• 进口精密主动隔振光学平台。
• 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫面隧道显微镜,激光干涉仪 ,半导体检测设备,三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等。

主动隔振光学平台技术指标:
• 隔振频率:0.5~100Hz
• 自动平衡,响应时间短,平衡速度快
• 钢蜂巢内核:钢制蜂窝芯,钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm²
• 表面平整度:±0.1mm /600mm×600mm
• 台面:4.0mm厚度430 系列高导磁不锈钢
• 底面:4.0mm厚钢板,表面氧化处理

边墙板:2.0mm厚钢板,包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔径: M6 (英制螺孔可选)
• 孔距:25mmX25mm(英制孔距可选),最外边孔距平台边缘
37.5mm
• 螺孔密封:每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封,方便清洁
• 阻尼隔振方式:宽带阻尼