电动高负载扫描台Scanner55-xy特点
• 紧凑的设计，外形尺⼨ : 555515 mm
• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容 18 Tesla磁场
• ⾼负载 : 500 g
• ⾏程@300 K: 120*120 um
• 空间扫描达到 2 nm 分辨率

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更新时间：2025-04-02

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电动高负载扫描台Scanner55-xy特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨ : 55*55*15 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容 18 Tesla磁场

• ⾼负载 : 500 g

• ⾏程@300 K: 120*120 um

• 空间扫描达到 2 nm 分辨率

电动高负载扫描台Scanner55-xy尺⼨图

Scanner55-xy, 详细参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆

可选版本 ⇨	.HV (default)	.ULT	.UHV	.ULT.UHV
.HV 版本, 默认产品;
.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤
.UHV 版本, 兼容2E- 11 mbar
1 尺⼨	55 × 55 mm × 15 mm
2 重量	150g
工作环境
3 基础	温度范围 : 1.4 ~ 400 K 真空 : 2e-7 mbar 最⼤磁场 : 18 Tesla
4 可选 1 - 30 mK		✓		✓
5 可选2 - 2e- 11 mbar			✓	✓
材料
6 主体	纯Ti	铍铜	纯Ti	铍铜
7 线缆	磷铜双绞线, 20cm
8 插针材料	Polyster (glass Þ ber Þ lled), BeCu		Peek, BeCu
9 插针数⽬	每个扫描维度 2 pins
运动参数
10 扫描维度	X, Y
11 ⾏程@300 K	120*120 um
12 驱动电压	Max. 75 V @300 K Max. 180 V @4 K
13 最⼤负载	500 g
14 电容@300 K	7 uF
15 分辨率	2 nm
16 线性度误差	Typical ~ 0.1 %
17 可重复性	< 10 nm