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Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台

  • 产品型号:
  • 产品时间:2024-03-19
  • 简要描述:压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z
    室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征
  • 产品介绍

压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z

室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征

Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;

• 闭环定位精度优于 1nm;

• 最⼤负载 500 g;

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案;

• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级


Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨

正常版本


.NM     绝对⽆磁版本;

.HV,     ⾼真空版本 ;

.UHV ,超⾼真空版本;

1

运动⽅向

Z 轴

2

⾏程

100 um

3

线性度

0.02%

4

摇摆 / 俯仰

30 urad

5

内置传感器

电容式传感

6

传感器噪⾳

0.3 nm

7

Z ⽅向分辨率,开环

0.1 nm

8

稳定时间 (90%位置到达)

15 ms

0.4 N/um

9

刚性

10

共振频率(⽆负载)

650 Hz

11

共振频率( 150 g 负载)

275 Hz

12

整体重量

270 g

13

不锈钢304 ,铝合⾦

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