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NXP系列多维度光学耦合台产品概述
说明:
NXP 系列多维度光学耦合台包含六轴耦合台和三轴耦合台,以及可用于其他产品的手动驱动和电动驱动。它适用于光纤、波导、光电封装和任何其他高分辨率对准或定位应用,包括通用实验室任务。创新的柔性设计与模块化驱动系统相结合,提供了卓*的性能和灵活性。
NXP 系列六轴耦合台的位移台在移动平台前都有不锈钢探针,标记所有旋转轴的公共支点,所有旋转轴都具有公共支点,可以减少系统的对准时间。
NXP 系列多维度光学耦合台产品内部没有导轨轴承,平行挠性设计确保滑台连续的运动和长期的稳定性,非常适用于亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用,提供内置压电驱动器的版本。这种结构相对于滑台组维的方式,稳定性有极大的提高,在温度较为恒定的条件下,产品适用于光纤对准等需要保持静态粘接的应用中。
NXP 系列多维度光学耦合台可进行手动驱动 / 电动驱动快换,可满足空间中不同维度使用混装驱动器。
命名规则

NXP系列多维度光学耦合台选型表
注:表格为NXP系列产品型号汇总,其中红色标注型号为研发中产品
六轴高精度耦合台
型号  | NXP-6M  | NXP-6P  | NXP-6NP  | |
行程  | X 、Y 、Z直线行程为4 mm。Rx、 Ry、 Rz(摆动、俯仰和偏转)行程为4 。(70mrad)  | |||
传动比  | X轴和Y轴传动比为1: 1.5,驱动器每平移1 mm,位移台将平移1.5 mm;Z轴的传动比为1:1;三个旋转轴驱动每平移 1μm,旋转17μrad  | |||
分辨率  | 见驱动  | |||
旋转中心  | 公共旋转中心;最大串扰100 µm  | |||
 压电  | 规格  | 
 无  | 开环压电  | 闭环压电  | 
行程  | 19µm  | |||
分辨率  | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad  | |||
最大负载  | 1kg  | |||
共振频率  | >130 Hz(±10%)  | |||
热稳定性  | 1μm/℃  | |||
三轴高精度耦合台
型号  | NXP-3M  | NXP-3P  | NXP-3NP  | |
行程  | 4 mm  | |||
传动比  | 1:1  | |||
分辨率  | 见驱动  | |||
串扰  | 100um  | |||
顶板平行度  | <100µm  | |||
 压电  | 规格  | 无  | 开环压电  | 闭环压电  | 
行程  | 19µm  | |||
分辨率  | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad  | |||
最大负载  | 1kg  | |||
共振频率  | >130 Hz(±10%)  | |||
热稳定性  | 1μm/℃  | |||
驱动
型号  | DNXP-M  | DNXP-A  | 
驱动类型  | 手动  | 电动  | 
行程  | 13mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm  | 8mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm  | 
分辨率  | 粗调10 µm,微调0.5 µm  | 1.25 µm  | 
电机  | 无  | 28步进电机,步距角1.8。  | 
限位  | 内置限位开关  | |
定位精度  | 双向重复性为5.0 µm  | 
NXP多维度光学耦合台尺寸图


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