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光致发光光谱成像测量系统

  • 型   号:PMEye-3000
  • 价   格:

光致发光光谱成像测量系统PL(光致发光)是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下,电子吸收激发光子的能量,向高能级跃迁而处于激发态。荧光光谱代表了半导体材料内部,一定的电子能级跃迁的机制,也反映了材料的性能及其缺陷。PL是一种用于提供半导体材料的电学、光学特性信息的光谱技术,可以研究带隙、发光波长、结晶度和晶体结构以及缺陷信息等等。

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光致发光光谱成像测量系统 PMEye-3000
 

PMEye-3000光致发光光谱成像(PL-Mapping)测量系统是卓立汉光 新研制的,用于LED外延片、半导体晶片、太阳能电池材料等,在生产线上的质量控制和实验室中的产品研发检测。该系统对样品的PL谱进行Mapping二维扫描成像,扫描结果以3D方式进行显示,使检测结果更易于分析和比较。该系统的软件窗口界面友好,操作简单,只需简单培训就能使用。

测试原理:
PL(光致发光)是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下,电子吸收激发光子的能量,向高能级跃迁而处于激发态。激发态是不稳定的状态,会以辐射复合的形式发射光子向低能级跃迁,这种被发射的光称为荧光。荧光光谱代表了半导体材料内部,一定的电子能级跃迁的机制,也反映了材料的性能及其缺陷。PL是一种用于提供半导体材料的电学、光学特性信息的光谱技术,可以研究带隙、发光波长、结晶度和晶体结构以及缺陷信息等等。

光致发光光谱成像测量系统应用领域举例:
LED外延片,太阳能电池材料,半导体晶片,半导体薄膜材料等检测与研究。

主要特点:

◆ PLMapping测量
◆ 多种激光器可选
◆ Mapping扫描速度:180点/秒
◆ 空间分辨率:50um
◆ 光谱分辨率:
0.1nm@1200g/mm
◆ Mapping结果以3D方式显示
◆ 大8吋的样品测量
◆ 样品精确定位
◆ 样品真空吸附
◆ 可做低温测量
◆ 膜厚测量




一体化设计,操作符合人体工学
PMEye3000 PL Mapping测量系统采用立式一体化设计,关键尺寸根据人体工学理论设计,不管是样品的操作高度和电脑使用高度,都特别适合于人员操作。主机与操作平台高度集成,方便于在实验室和检测车间里摆放。仪器侧面设计有可收放平台,可摆放液晶显示器和鼠标键盘。仪器底部装有滚轮,方便于仪器在不同场地之间的搬动。
模块化设计
PMEye-3000 PL Mapping测量系统全面采用模块化设计思想,可根据用户的样品特点来选择规格配置,让用户有更多的选择余地。激发光源、样品台、光谱仪、探测器、数据采集设备都实现了模块化设计。


操作简便、全电脑控制
PMEye-3000 PL Mapping测量系统,采用整机设计,用户只需要根据需要放置检测样品,无需进行复杂的光路调整,操作简便;所有控制操作均通过计算机来控制实现。
全新的样品台设计,采用真空吸附方式对样品进行固定,避免了用传统方式固定样品而造成的损坏;可对常规尺寸的LED外延片样品进行精确定位,提高测量重复精度。


两种测量方式,用途更广泛
系统采用直流和交流两种测量模式,直流模式用于常规检测,交流模式用于微弱荧光检测。

监控激发光源,校正测量结果
一般的PL测量系统只是测量荧光的波长和强度,而没有对激发光源进行监控,而激发光源的不稳定性将会对PL测量结果造成影响。PMEye-3000 PL Mapping测量系统增加对激光强度的监控,并根据监控结果来对PL测量进行校正。这样就可以消除激发光源的不稳定带来的测量误差。

激光器选配灵活
PMEye-3000 PL Mapping测量系统有多种高稳定性的激光器可选,系统 多可内置2个激光器和一个外接激光器,标配为1个405nm波长高稳定激光器。用户可以根据测量对象选配不同的激光器,使PL检测更加精准。
可选配的激光器波长有: 405nm,442nm,532nm、785nm、808nm等,外置选配激光器波长为:325nm。


自动Mapping功能
PMEye-3000 PL Mapping测量系统配置200×200mm的二维电控位移台, 大可测量8英寸的样品。用户可以根据不同的样品规格来设置扫描区域、扫描步长、扫描速度等,扫描速度可高达每秒180个点,空间分辨率可达50um。扫描结果以3D方式显示,以不同的颜色来表示不同的荧光强度。

软件功能丰富,操作简便
我们具有多年的测量系统操作软件开发经验,,熟悉试验测量需求和用户的操作习惯,从而使开发的这套PMEye-3000操作软件功能强大且操作简便。
MEye-3000操作软件提供单点PL光谱测量及显示,单波长的X-Y Mapping测量,给定光谱范围的X-Y Mapping测量及根据测量数据进行峰值波长、峰值强度、半高宽、给定波长范围的荧光强度计算并以Mapping显示,Mapping结果以3D方式显示。同时具有多种数据处理方式来对所测量的数据进行处理。
 



低温样品室附件
该附件可实现样品在低温状态下的荧光检测。有些样品在不同的温度条件下,将呈现不同的荧光效果,这时就需要对样品
进行低温制冷。


PMEye-3000光致发光光谱成像测量系统主要功能和技术参数
● 激发光源:405nm低噪声半导体激光器,功率:100mW(标配)
● 光谱分辨率:0.1nm(@1200g/mm光栅)
● 光探测器:硅光电探测器,200-1100nm
● 数据采集器:DCS300PA(直流模式,标配);SR830锁相放大器(交流模式,选配)
● 二维移动样品台,行程200mm,重复定位精度 <3μm
● 样品台:可放置6”晶片,真空吸附
● 扫描速度:10,800点/s
● 扫描步长: 小可达1.25μm
● 空间分辨率:<50μm
● 扫描模式:单点光谱扫描、单波长mapping、峰值波长mapping、峰值强度mapping等

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