长行程线性位移台：超安静运动 ·纳米级分辨率 断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格

1

可选版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*无磁版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*无磁版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*无磁版本

2

外形尺寸

90 × 24 × 14 mm

180 × 24 × 14 mm

250 × 36 × 16.5 mm

3

主体材料

标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷

标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷

标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷

4

质量（标准版）

174 g

388 g

840 g

5

运动行程

50 mm

100 mm

150 mm

6

安装空间

140 × 24 × 14 mm

280 × 24 × 14 mm

400 × 36 × 16.5 mm

7

速度范围

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

8

驱动力

2 N

2 N

2 N

9

保持力

3 N

3 N

3 N

10

水平方向使用*大负载

1 kg

2 kg

3 kg

11

双向重复定位精度

± 150 nm

± 150 nm

± 150 nm

12

全行程俯仰 / 偏摆

0.2 mrad

0.2 mrad

0.2 mrad

13

最小步伐（闭环）

5 nm

5 nm

5 nm

14

位置传感器类型

光学位置传感器

光学位置传感器

光学位置传感器

15

位置传感器分辨率

2 nm

2 nm

2 nm

16

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)

默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)

默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)

17

控制器规格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

1

可选版本

.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*无磁版本

无

2

外形尺寸

82 × 295 × 20 mm

82 × 295 × 20 mm

3

主体材料

标准版、.HV、.UHV 钢，铝合金：1 kg

钢，铝合金：1 kg

4

运动行程

200 mm

200 mm

5

速度范围

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s-

6

驱动力

3 N

3 N

7

保持力

5 N

5 N

8

水平方向使用*大负载

2 kg

2 kg

9

双向重复定位精度

± 100 nm

± 300 nm

10

全行程俯仰 / 偏摆

0.3 mrad

0.3 mrad

11

最小步伐（闭环）

5 nm

100 nm

12

位置传感器类型

光学位置传感器

光学位置传感器

13

位置传感器分辨率

2 nm

50 nm

14

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)-

15

控制器规格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列