SXRD-HR100高精度X射线衍射仪是一款高分辨、多功能、自动化为一体的X射线衍射仪，其测试范围覆盖了粉末、薄膜、纳米材料等各类材料，广泛应用于材料科学、能源、半导体、医药等领域。

产品简介

SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、 自动化为一体的X射线衍射仪，其测试范围覆盖了粉末、薄膜、纳米材料等各类材料，广泛应用于材料科学、能源、半导体、医药等领域。

产品特色

• 标配密封陶瓷X射线光管，功率大，亮度高，可持续工作，长期可靠性好

• 高运动精度测角仪，配合高精密光学元件，可提供高准直、高单色的X射线光束

• 二维光子计数探测器，具有很高的空间分辨率，可以大幅度提高测试效率

• 具有良好的兼容性和扩展性，支持模组快捷切换，以满足不同应用场景的需求

• 智能光路系统：光路自动切换、模组自动识别

测试数据

SXRD-HR100测试数据：半高宽(FWHM)

测试条件

• B/B几何光路
  

• 光管功率：40KV，40mA

• 索拉狭缝：3°

• 入射狭缝：0.6°

• 步进模式：step=0.003°(单晶硅)

• 连续模式：step=0.02°(多晶硅)

高精度X射线衍射仪SXRD-HR100技术特点

大功率光管（两种靶材可选）

Cu靶：标配光源，波长=1.54Å，适用于绝大部分X射线衍射实验和应用场景

Mo靶：波长=0.71Å，主要针对轻元素（如 Li、B）材料和超高分辨（如半导体应变层）的衍射实验

模块化与自动化设计

• 系统具有模组自动识别功能，可随时了解系统配置状态

• 光路自动调整，可有效降低实验难度，提高实验效率

• 不同光路之间可自动切换，大大提高实验的自动化程度

超高分辨率

• 高精度测角仪，配合光学编码器的全闭环控制，可实现的定位精度为 ±0.0001°

• X射线多层膜反射镜（Goebel镜），用于X射线光束修饰，可将光束准直性提高到0.03°以内，并有效去除特征光谱中的Kβ部分

• Ge220双晶单色器，用于X射线光束修饰，可进一步提高光束单色性，是超高分辨率衍射的必*光学元件

• 可选配二维单光子计数探测器，具有大面积（有效面积 77.1x 38.4毫米）、高空间分辨率（最小像素75x75 微米）和高计数率

客户价值

提升科研效率 （自动化 + 高通量，缩短研发周期）

自动化操作：自动校准功能、模块识别功能、一键式流程，可以有效降低实验难度，提高实验效率，非常适合需要快速迭代的研发场景

大面积光子计数探测器：可同时采集多角度数据，结合 AI 辅助分析，快速完成物相识别或应力分布计算，加速实验-反馈循环

节约运行成本（低维护设计 + 模块化扩展 + 自动化设计，降低全生命周期成本）

低维护与高寿命：标配的陶瓷密封X射线管，使用寿命长，日常无需维护成本

模块化设计与扩展性：用户无需为不同需求购置多台设备，通过升级附件，即可扩展新的功能，降低初期投资和后续升级成本

节约人力成本：自动化操作减少对专业操作员的依赖，新手经过短期培训即可独立完成复杂测试，有效降低人力资源投入

提升数据的质量与可靠性（高灵敏度 + 稳定性，确保数据可靠性，支持高精度工艺控制）

高精度与低噪声：高精密光学元件，对X射线光束进行准直和单色，配合多能量阈值可选的光子计数探测器，可以有效降低噪声信号，提高实验的分辨率，确保弱信号样品的精准检测，提高实验数据的可靠性

稳定性与重复性：高精度机械加工，配合光学编码器形成的全闭环控制，保证了测角仪的运动精度、稳定性、长期可靠性，可以满足工业质量控制（如半导体晶圆检测）对可重复性的严苛要求

灵活性（模块化设计，兼容性强，扩展性强，满足跨领域需求，适应技术趋势迭代）

易用性（智能化操作降低技术门槛，远程协作提升资源利用率）