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光谱仪用CCD介绍
更新时间:2024-03-06浏览:3839次
  光谱仪用CCD介绍(卓立汉光)

  CCD,是英文Charge Coupled Device 即电荷耦合器件的缩写,它是在MOS晶体管电荷存储器的基础上发展起来的,突出的特点是以电荷作为信号,而不是以电流或电压作为信号的。

  在P型或N型硅单晶的衬底上生长一层厚度约为120~150nm的SiO2层,然后按一定次序沉积m行n列个金属电或多晶硅电作为栅,栅间隙约2.5μm,于是每个电与其下方的SiO2和半导体间构成了一个MOS结构,这种结构再加上输入、输出结构就构成了m×n位CCD(m>1,n≥1);当n=1时,CCD器件被称为线阵CCD;当n>1时,则为面阵CCD。

  CCD按受光方式分为前感光和背感光两种。前感光CCD由于正面布置着很多电,光经电反射和散射,不仅使得响应度大大减低(量子效率通常低于50%),也因为多次反射产品的干涉效应使光谱响应曲线出现马鞍形的起伏;背感光CCD由于避免了上述问题,因而响应度大大提高,量子效率可达到80%以上。

 

  CCD的重要性能参数:

  一、量子效率:
  量子效率是表征CCD芯片对不同波长的光信号的光电转换本领的高低,是CCD的一个重要参数。

  二、动态范围:
  一般定义动态范围是满阱容量与噪声的比值。增大动态范围的途径是降低暗电流和噪声,如采用制冷型CCD,或选择量子效率更高、像素尺寸更大的CCD。

  三、噪声:(CCD的噪声包含信号噪声、读出噪声和热噪声)
  1、信号噪声是指信号的随机噪声。
  2、读出噪声是电荷转移时产生的噪声,它发生在每次电荷转移过程中,因此与读取的速度有关,读取速度越快,读出噪声也越高。
  3、热噪声是温度引起的噪声,温度越低,热噪声越小。

  四、分辨率:
  1、面阵CCD的分辨率一般是指空间分辨率,它主要取决于CCD芯片的象元数和像素大小。
  2、当CCD与光谱仪配合使用来进行光谱摄制时,其光谱分辨率则与光谱仪的光学色散能力以及CCD芯片的像素大小都有关系。

  五、线性度:
  线性度是表征CCD芯片中的不同像元对同一波长的输入信号,其输出信号强度与输入信号强度成比例变化的一致性。

  六、读出速度:(帧数)
  读出速度是用来表征单位时间内处理数据速度的快慢的参数。读出速度越快,单位时间内获得的信息越多;但同时要注意,读出速度越快,读出噪声越高。

  七、制冷方式:
  CCD的制冷方式主要有半导体(TE)制冷和液氮制冷。
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