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光致发光影像系统

  • 产品型号:Helios
  • 产品时间:2016-04-12
  • 简要描述:Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备,鉴别太阳能电池材料中可能降低效率的隐性伤痕,提高生产效率的同时降低成本。每条生产线每年提升效益170万美元!
  • 产品简介

Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备,
鉴别太阳能电池材料中可能降低效率的隐性伤痕,提高生产效率的同时降低成本。每条生产线每年提升效益170万美元!
应用:
1.进料监控  通过少子寿命自动对晶圆定级
2.过程控制  监控和优化关键工序,如扩散和镀膜等
3.损伤鉴别  检测电池片成品的破损和微小裂痕
 
 
 
特点:
1.       线上监控或线下分析都适用
2.       采用InGaAs探头提升测量灵敏度,减少检测时间
3.       采用高灵敏光学成像技术,每片晶圆测试时间<1s
4.       鉴别并预防低质量材料进入高损耗工序,降低成本
5.       采用简单明了的图形界面和是非判定
6.       相比于其他同类PL系统更具性价比
 
 

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