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三维表面形貌测量仪

  • 产品型号:
  • 产品时间:2019-12-06
  • 简要描述:三维表面形貌测量仪这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和*的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸件、精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。
  • 产品简介

随着半导体技术的电子技术工艺的发展,电子产品都往小型化,轻薄化发展。iWatch的一经推出,穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化,器件体积越做越小,空间就紧凑起来,这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸,现在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米级别,这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。

卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生,这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和*的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。

 

卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发,3D形貌测试仪就是常年实践积累的成果(利号:CN207556477U)。该项技术,具有以下优点:

技术

线性共焦光谱技术

点测技术

激光扫描

3D相机

速度

1000 line/s

1000 point/s

1000 line/s

多角度拍照快

扫描宽度

6.5mm/20mm

可选

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面层数

多层

多层

表面

表面

建模

数据量

 

三维表面形貌测量仪主要特点有:

1、非接触性测量;

2、线扫描,高效率;

3、微米级精度;

4、满足透明面及高对比度表面测试;

5、支持二次开发;

 

三维表面形貌测量仪主要应用

1、精密部件3D尺寸及段差测试;

2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试;

3、3D玻璃缺陷检测;

4、半导体表面缺陷测试;

5、多层薄膜厚度测试;

 

3D形貌测试仪产品型号及规格

 

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光谱

共焦光谱

精度

1um

8um

重复性

±0.3um

±4um

线扫宽度

6.5mm

20mm

Z轴量程范围

1.3mm

5mm

扫描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

 

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